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勻膠機 Spin Coater 品牌:MIDAS
MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的知名國際品牌，目前全球用戶超過1800臺，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽，是行業(yè)者。
技術(shù)規(guī)格：
項目 Item | 技術(shù)規(guī)格 Specification |
時間 Time | 1~999秒，可調(diào)節(jié) |
基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm，直流伺服馬達/交流伺服馬達 |
勻膠狀態(tài) Spin State | 50步，20個方案控制(數(shù)字程序編輯) |
碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸，鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸，SUS |
增/減速率 Accele/deceleration Rates | 可調(diào)節(jié) |
真空卡盤 Vacuum Chuck | 鋁(陽極氧化)，乙縮醛(Acetal) |
電源 Electrical Power | 220V, 5A |
無油真空壓力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |
儀器特點：
1） 桌上型勻膠機，涂膜厚度范圍：100nm~100um；
2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液；
3） 緊湊型設(shè)計，用戶編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，易于操作；
4） 加速及減速速率基于設(shè)定的時間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動計算；
5） 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進行編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，并進行實驗操作。
儀器介紹：
勻膠機有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
