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ASC4000系列臺式勻膠機
簡介
ASC4000系列勻膠機（旋涂儀）在上一代ASC勻膠機基礎(chǔ)進行了新的設(shè)計，廣泛應(yīng)用于晶片，光學(xué)和平板顯示基片的旋涂工藝，其良好的勻膠性和高速平穩(wěn)的速度使得勻膠厚度從厚至薄都始終保持高度均勻。配置閉環(huán)式高性能無碳刷直流電機的ASC系列勻膠系統(tǒng)提供精度為±1rpm的旋涂勻膠速度，可以滿足高校，國家實驗室及研發(fā)中心的相關(guān)應(yīng)用；ASC系列勻膠機具有準確性，可重復(fù)性和穩(wěn)定性，能提供最好的旋涂或勻膠性能。
ASC 4100
技術(shù)規(guī)格1
設(shè)備 | ASC - 4100 |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 4" ?80mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps |
真空泵 | 無油真空泵 |
電源 | 220VAC/110VAC, 5A |
ASC 4200 ASC 4200A
技術(shù)規(guī)格2
設(shè)備 | ASC - 4200 | ASC - 4200A |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 6" ?100mm | Pieces ~max Ø 8" ?150mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm | 0~ 6000rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) | AC Servo 250w Spin Motor |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover | Ø 330 HDPP Bottom & Top cup |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps | |
真空泵 | Oil-less Vacuum Pump | |
電源 | 220VAC, 5A | |
儀器介紹
勻膠機有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
