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XYZ測(cè)量行程：300x300x150 mm/ 300x300x200 mm
承載力：30 kg
光學(xué)鏡頭：?jiǎn)畏糯蟊堵?，固定倍率固定鏡頭光學(xué)與工廠可配置的后適配管和現(xiàn)場(chǎng)可互換前置鏡頭;可選雙放大率，具有現(xiàn)場(chǎng)可更換的前置透鏡的固定透鏡
光學(xué)測(cè)量的相機(jī)：200萬像素(1628 x 1236)數(shù)碼單色;彩色和其他相機(jī)配置可選
照明：可編程LED照明系統(tǒng)，共軸通過鏡頭的表面光，平臺(tái)下的背光，和多色環(huán)形光與自動(dòng)入射角控制網(wǎng)格自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)
傳感器的選擇：TTL激光彩虹探頭，離軸白光傳感器
測(cè)量模式：高速移動(dòng)與測(cè)量(MAM)連續(xù)圖像捕獲(CIC)
產(chǎn)品特征：Benchmark 300標(biāo)準(zhǔn)配備
:?高分辨率單放大率光學(xué)系統(tǒng)
?2.5倍顯微鏡物鏡
?0.1um光柵尺
?可編程環(huán)形燈(PRL)
?多功能手動(dòng)控制器
?基于pc的系統(tǒng)控制器。
?VIEW計(jì)量軟件(VMS)，它在一個(gè)系統(tǒng)中結(jié)合了功能和易用性。
Benchmark300特殊選項(xiàng)包括
:?精度升級(jí)為0.05um光柵尺分辨率
?脈沖背光用于連續(xù)圖像捕捉(CiC)應(yīng)用所有的標(biāo)準(zhǔn)VIEW硬件和軟件選項(xiàng)也在Benchmark300上可用，包括:
?雙放大光學(xué)系統(tǒng)
?網(wǎng)格自動(dòng)對(duì)焦與Ronchi或點(diǎn)網(wǎng)格投影儀
?0.8 x、1X、5X、10X和25X的前置物鏡通過鏡頭同軸(TTL)激光
?microtheta旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)
?彩虹探針?
?工業(yè)數(shù)字I/O
?溫度監(jiān)控
?Element Cad測(cè)量軟件
?連續(xù)圖像捕捉(CiC)
?面域多焦點(diǎn)軟件包
?圖像處理包
