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傳送如此昂貴的晶圓,你的機(jī)器人穩(wěn)妥?-雷尼紹-新聞中心-中國(guó)工控網(wǎng)
2016年10月19日 - 一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜工序后終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴傳送機(jī)器人在處理站之間執(zhí)行快速、的傳送作業(yè)。晶圓昂貴且易碎
機(jī)器人手臂