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去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂）,則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH-被置換到水中,并和水中的H+結(jié)合成水,此即去離子水.去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途,使用去離子水,是我國很多行業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量的,趕超世界先進水平的重要手段之一.由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制,從而,使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、等物理、化學及病理等指標均得到良好的控制.在工業(yè)生產(chǎn)及實驗室的實驗中,如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水,那么,許多參數(shù)會更接近設計或理想數(shù)據(jù),產(chǎn)品質(zhì)量將變得易于控制.
3.高純水,是指化學純度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質(zhì)純度要求相當高,所以一般應用最普遍的還是電子工業(yè).例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達到“微克/升”級.在純水的制作中,水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準.不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂,而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件.高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的.
