高靈敏度能量色散型X射線熒光元素（element）檢測儀 EA6000VX

對于管理基板整面上的有害物質(zhì)，以及針對微小部位的測定等以前的裝置對應(yīng)比較困難的要求，EA6000VX都能做到。

.快速掃描

憑借 大150萬CPS的高計數(shù)率檢測器(detector)完成高靈敏度的測量，以及借助 大250 mmX200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺，實現(xiàn)快速掃描測量。對于范圍為100 mmX100 mm的情況，可在2～3分鐘內(nèi)檢測出端子部分的鉛并確定其位置。

2. 連續(xù)多點測量

 多可指定500個測量位置進(jìn)行連續(xù)多點測量。由于采用自動測量方式，因此在測量大量樣品是，也可發(fā)揮高效率。

3. 高精密重合

通過Telecentric Lens 系統(tǒng)和高速?高精度XY平臺，將元素（element）掃描像和光學(xué)成像進(jìn)行重合對微小部品的中心部分的目標(biāo)元素（element）也能進(jìn)行簡單觀察。 大250 mmX200 mm上方觀察，并且能夠?qū)崿F(xiàn)廣域位置 小誤差為100 μm以內(nèi)的精確定位。

4. 微小部位測量

在FT系列中被公認(rèn)的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說極薄的鍍金等膜厚測量，即便是在進(jìn)行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)檢測的膜壓測量的同時也可進(jìn)行膜厚測量。比如也可進(jìn)行無鉛焊錫鍍層（plating）及引線框架上Sn鍍層（plating），無電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測量。

5. 環(huán)境中限制物的測量

RoHS等限制物的高靈敏度測量，短時間內(nèi)測出樹脂、金屬等中含有的微量環(huán)境限制物。對復(fù)合樣品也可專注到特定部位進(jìn)行測量。

6. 輕元素（element）測量

通過安裝充氦選購項，可以檢測鈉開始的輕元素（element）。測量中能夠獨立運(yùn)轉(zhuǎn)的氦氣系統(tǒng)。將使用成本 大化降低。

7. 透視掃描機(jī)能

筆記本、手機(jī)等不能透過外包裝看到內(nèi)部構(gòu)造的產(chǎn)品，無需拆解就可得到不僅僅是基板上的Pb，甚至其他各種元素（element）的掃描圖。通過比較X射線照射后得到的元素（element）掃描圖像，可以了解關(guān)于產(chǎn)品內(nèi)部部件構(gòu)造的各種情報。