測量動態(tài)MEMS設(shè)備 光學(xué)輪廓儀是確定MEMS設(shè)備表面特征的一 種非常有用的工具。傳統(tǒng)意義上，光學(xué)輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但是，在測量過程中，所測量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下，如果樣品不穩(wěn)定或者 處于運(yùn)動狀態(tài)則會引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而，對于MEMS設(shè)備，需要確定該設(shè)備處于運(yùn)動狀態(tài)時的形貌特征，了解和確定 其在運(yùn)動狀態(tài)下的功能和特征對研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重要，作為質(zhì)量檢驗(yàn)，只有動態(tài)測量才可以真正模擬MEMS實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)，從而達(dá)到正真的功能檢測。 先進(jìn)的3D光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)這一測量功能，運(yùn)用NewView?7300和新的動態(tài)測量模塊DMM可以形成一個動態(tài)測量體系：一個頻閃的LED光源同步于MEMS設(shè)備的觸發(fā)信號，通過調(diào)整光源的頻閃頻率，其MEMS設(shè)備的運(yùn)動被有效“靜止”。實(shí)現(xiàn)光學(xué)輪廓儀在 動態(tài)設(shè)備上進(jìn)行測量。 無論是生產(chǎn)制造過程中的質(zhì)量控制，還是實(shí)驗(yàn)室的研究，ZYGO裝有DMM模塊的NewView?7300系統(tǒng)對檢查靜態(tài)和動態(tài)MEMS提供了不可或缺的測量設(shè)備和全面的解決辦法。其的測量范圍和測量速度，已成為動態(tài)MEMS測量的理想解決方案。 薄膜分析應(yīng)用 白光掃描干涉儀NewView?系列能夠從樣品表面反射和參照反射的相干光中產(chǎn)出形貌高度數(shù)據(jù)。干涉物鏡在垂直方向上進(jìn)行掃描，CCD記錄下干涉條紋的演變。計(jì)算機(jī)通過分析條紋演變過程中的強(qiáng)度變化，就能確定樣品形貌的高度。 過去，測試樣品時，只有一個調(diào)制信號被檢查到，但大部分的樣品如半導(dǎo)體、MEMS、平面顯示屏等，這些樣品透射且能在樣品的同一點(diǎn)上產(chǎn)生多個調(diào)制信號，利用傳統(tǒng)的分析方法來處理這些信號有可能導(dǎo)致不正確或不存在的數(shù)據(jù)。 為分離多個調(diào)制信號，MetroPro?8.1.1（或更版本）包含ZYGO專利的薄膜分析軟件——TopSlice和FilmSlice可以消除這些缺陷并讓用戶獲得下列結(jié)果： ? 單獨(dú)測量薄膜頂部表面形貌 ? 單獨(dú)測量薄膜底部表面形貌 ? 單獨(dú)測量薄膜厚度、頂部表面形貌和底部表面形貌 NewView?7300系統(tǒng)采用一種增強(qiáng)型光源，包括一個LED光源和一個可變的光圈來限定光源的數(shù)值孔徑。其光圈所有的物鏡可以用來測量薄膜的第二個面和厚度，5倍或者更低的物鏡可以測量光學(xué)厚度1.5μm至75μm薄膜的頂部面形特征和底部面形特征以及薄膜厚度，大于5倍的物鏡可以得到更測量，但是可測量的較大薄膜厚度隨著物鏡的放大倍數(shù)增加而降低。MetroPro?薄膜分析模塊同時提供頂部面形、第二面（一般稱為底部）面形和薄膜厚度的數(shù)據(jù)。 MetroPro?薄膜分析應(yīng)用結(jié)合ZYGO的輪廓儀—NewView?7300—是目前對薄膜面形和薄膜厚度定量和直接顯示的且功能完善的儀器。ZYGO專利的TopSlice和FilmSlice算法讓用戶在薄膜中對薄膜厚度的較大范圍和無可比擬的重復(fù)性具有充足的信心。 測量次納米表面形貌 眾所周知，白光光學(xué)輪廓儀可以用來測量表面形貌。隨著機(jī)械精度和光學(xué)加工能力的提高，超光滑或者次納米表面的加工越來越普及，這些表面的量化已成為過程控制的關(guān)鍵。 NewView?7000系列光學(xué)輪廓儀運(yùn)用掃描白光干涉技術(shù)配備MetroPro?軟件和專利的FDA分析技術(shù)使得表面形貌的測量能夠達(dá)到次納米量級。如果很好的控制測量環(huán)境，選擇合適測量參數(shù)以及的儀器校準(zhǔn)，則表面粗糙度測量可以達(dá)到皮米量級（1×10-12）。 在對超光滑表面進(jìn)行定量測試時，首先要清楚每一個測量系統(tǒng)均存在其固有本底噪聲。這些噪聲來源電子噪聲、接收器噪聲、參考鏡表面的微小不平整以及測量環(huán)境引起的微小振動等。對大多數(shù)樣品，NewView系統(tǒng)的測量噪聲基本上可以忽略，因?yàn)樗鶞y量的結(jié)果遠(yuǎn)大于本底噪聲。但對于非常光滑的表面，本底噪聲就得加以考慮，對這些樣品的測量就需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制。 測量超光滑表面需要對測量環(huán)境很好的控制，理想的測量環(huán)境是： ? 機(jī)械和聲波振動的小化 ? 在測量時間內(nèi)嚴(yán)格控制溫度的變化，使樣品，物鏡溫度變化 小化 ? 嚴(yán)格控制物鏡和樣品之間的氣流，使氣流對測量影響小化 許多噪聲源可以通過以下的方法來消除或減低，一是很好控制測試環(huán)境如聲波、氣流、溫度及其變化等；二是進(jìn)行多次測量并將測量結(jié)果加以平均從而獲得很好的測量結(jié)果。 通過上述描述的方法和測量過程，可以證明ZYGO有能力測量粗糙度小于0.05nm的光滑表面，很好地控制環(huán)境并選擇合適的內(nèi)部精度以及基于系統(tǒng)優(yōu)化函數(shù)的位相平均次數(shù)，就能讓光學(xué)輪廓儀測量量的表面形貌。因此，NewView?7300的高采樣速度和高分辨率使得超光滑表面形貌測量變得輕而易舉。 機(jī)械加工中的應(yīng)用 傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對機(jī)械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機(jī)械零件有很大的局限性。 光學(xué)輪廓儀初應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時，其3D、高速、精密、和穩(wěn)定，開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。ZYGO光學(xué)輪廓儀已在汽車發(fā)動機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有大量的應(yīng)用。ZYGO的MetroPro?分 析軟件中的一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機(jī)械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。