Aerotech三軸平臺(tái)系統(tǒng) 聯(lián)系人 葉振南 186-0036-4311 gkyezhennan@163.com 自1970年Aerotech開始研制較高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，激光應(yīng)用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。 PLANAR HD設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1 較大2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出 2的轉(zhuǎn)向和小的穩(wěn)定時(shí)間 3主動(dòng)偏轉(zhuǎn)控制 4 直線光柵或激光干涉儀反饋 5 行程1.2 m x 1.2 m 行程≤1200mm 精度±300 nm 重復(fù)定位精度±50 nm 分辨率 0.25 nm AGS1000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1采用AEROTECH自有無刷直線伺服電機(jī)，性能出眾，壽命長 2可靈活配置Z軸和θ軸 3可選機(jī)械底座和抬高量 4可選表面鍍鎳以進(jìn)行ESD保護(hù)和醫(yī)療應(yīng)用 5緊湊設(shè)計(jì)，整體尺寸小 6是芯片焊接機(jī)，引線接合器，WLP和DNA壓型的理想選擇． Travel行程≤500mm Accuracy精度±5.0um(±200uin) Load　負(fù)載15kg(33lb) AGS10000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1速度高達(dá)3米/秒,加速度3g 2采用大推力無刷直線伺服電機(jī) 3可靈活配置Z軸和θ軸 4非接觸直線編碼器(光柵) 5可選機(jī)械底座和抬高量 6適用于高速拾取/放置,自動(dòng)化裝配,視覺檢測,點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測． Travel行程≤1000mm Accuracy精度±5.0um Load　負(fù)載25kg(55.1lb.) AGS20000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1速度高達(dá)3米/秒,加速度高達(dá)5g 2采用雙Y軸,BLMH大推力無刷直線伺服電機(jī) 3雙Y軸直線編碼器(光柵) 4為高伺服帶寬較優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu) 5世界上較高生產(chǎn)力的龍門系統(tǒng) 6適用于超高速度和加速度,超高的精度和重復(fù)精度的場合． Travel行程≤1200mm Accuracy精度±3.0um Load負(fù)載30kg(66.1lb) FiberAlign 130US光纖技術(shù)系統(tǒng) 1適用于三光學(xué)校準(zhǔn) 2非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng) 3運(yùn)動(dòng)分辨率2.5nm 4低C.T.E.結(jié)構(gòu) 5對環(huán)境變化不敏感 FiberAlign 90/130 光纖校正系統(tǒng) 1適用于三到六軸光學(xué)校準(zhǔn) 2直線軸非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),旋轉(zhuǎn)軸直驅(qū) 3運(yùn)動(dòng)分辨率2.5nm,角度分辨率0.027-0.058 4交鑰匙工程的驅(qū)動(dòng)和控制系統(tǒng) 5光柵螺旋功率波動(dòng)運(yùn)算法則,工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)電源線接口 6可選集成視覺系統(tǒng) FiberGlide 3D 光纖定位器 1專為高性能光學(xué)校準(zhǔn)和裝配設(shè)計(jì) 2直線編碼器反饋,提供高達(dá)2nm的分辨率 3使用Automation3200控制可實(shí)現(xiàn)62皮米分辨率 4全預(yù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 5完全非接觸設(shè)計(jì) 6超平滑的速度控制性能 MaskAlign 1三軸光掩膜校準(zhǔn)平臺(tái) 26-8英寸掩膜標(biāo)準(zhǔn)接口 3集成真空吸槽以定位掩膜 4輪廓低,易于集成進(jìn)光學(xué)器件隊(duì)列 5直接驅(qū)動(dòng)無刷伺服電機(jī) SolarScribe 1現(xiàn)今可用的全面的光電平板雕刻系統(tǒng) 2機(jī)械和氣浮軸承的分離軸和龍門式系統(tǒng)適合所有PV/FPD雕刻應(yīng)用 3直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)平臺(tái) 4行程到2.5米 5高系統(tǒng)動(dòng)態(tài)剛性以高精度 6行業(yè)的控制系統(tǒng),配備基于位置的實(shí)時(shí)激光開火輸出 7可選單軸或多軸步進(jìn)軸,多Z軸,集成制動(dòng)的theta軸,被動(dòng)或主動(dòng)隔振,機(jī)械底座,控制箱