Partulab CPS-7000 LN2/LHe低溫真空探針臺(tái)是一種利用液氦/液氮快速制冷并為晶片、器件和材料（薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導(dǎo)材料、鐵電材料等）提供真空和低溫測(cè)試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測(cè)量平臺(tái)。

■ 顯微成像裝置
便于觀察微型樣品測(cè)量，設(shè)有聚焦視覺系統(tǒng)，LCD19監(jiān)視器、USB Camera位移臺(tái)的Monoscopes光學(xué)觀測(cè)組件，選擇合適的放大倍率和光源，可以清晰查看探針針尖位置，以便準(zhǔn)確無(wú)誤的進(jìn)行樣品測(cè)試；

■ 探針臺(tái)
將樣品放入探針臺(tái)，通過(guò)調(diào)節(jié)探針桿控制探針夾持樣品進(jìn)行測(cè)量，可以通過(guò)頂部玻璃觀察窗觀察樣品情況和探針位置；

■ 三維位移臺(tái)
X/Y/Z驅(qū)動(dòng)距離分別為50/25/25mm，X是導(dǎo)入桿軸向，Y是導(dǎo)入桿水平徑向，Z是導(dǎo)入桿上下方向。三維位移臺(tái)搭配壓縮波紋管，實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下三維調(diào)整，兩者中間連接電極安裝座，可以適配不通接口的真空f(shuō)eedthroughs；

■ 氣動(dòng)隔振臺(tái)
采用低固有頻率的空氣彈簧作為振動(dòng)隔離材料，并在支撐架上安裝了三個(gè)水平自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，以搭載低溫探針臺(tái)進(jìn)行隔離振動(dòng)干擾實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)規(guī)格

溫度范圍：80k-475（液氮制冷），4.2k-475k（液氮制冷）

選配低溫選件后，溫度可降低到3.2K；選配高溫選件，溫度范圍為20k-675k；控溫穩(wěn)定性：+50mK；

制冷劑消耗:<1.5L/hr@LHe   <0.5L/hr@LN2;

降溫時(shí)間：液氦~30min to 10k，~60min to 5k；液氮~45min to 110k， ~60min to 80k；

測(cè)試樣品尺寸：直徑51mm；

頻率范圍：測(cè)量DC到67GHz；

XYZ位移平臺(tái)形成與精度：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm，精度10μm；

真空環(huán)境：10-5-10-6mbar

頂部光學(xué)觀察窗：標(biāo)準(zhǔn)2.0‘’（51mm）；

4個(gè)直流探針臂，最多可使用6個(gè)探針臂，每個(gè)探針臂上配有三個(gè)同軸接頭及配套電纜。

該低溫真空探針臺(tái)可以對(duì)材料或器件進(jìn)行電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、高阻測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量，為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性，系統(tǒng)還可以提高3.2K的溫度擴(kuò)展選件、震動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

標(biāo)準(zhǔn)配置：

低溫真空探針臺(tái)：包含探針臺(tái)、顯微成像裝置、三維位移平臺(tái)、阻尼隔振臺(tái)、液氮液氦制冷平臺(tái)

選購(gòu)件：氣動(dòng)隔振臺(tái)、阻尼隔振臺(tái)、3.2K低溫選件、高溫選件、帶充氣增壓杜瓦瓶、電動(dòng)控制杜瓦瓶、泵管道隔震裝置、無(wú)油壓縮機(jī)、機(jī)械泵、分子泵機(jī)組等。